研究開発
分野
Ultra-High Vacuum Pumping Unit
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電源起動から到達真空達成までのステータスを
白 緑 赤の色で、「今の状態」をお知らせします。
起動から作業終了まで、操作はボタンひとつだけ。
排気スタートから到達まで、離れた場所から確認。

- ■ 到達真空度
- 5×10E-8 台の到達真空
- ■ 電源仕様
- 1Φ AC200 V(50/60Hz)
- ■ 消費電力
- 500 W
- ■ 外径寸法
- W720 × D470 × H760( mm)
- ■ 重 量
- 120 Kg
- ■ ロギング機能
- FTP or 専用SD カード
- ■ 真空値と排気グラフをパネルで表示
