Cathode にCathodePowerSupply から印加された電圧にTrigger電圧をパルスで印加しCathode と連結されているTarget とTrigger間に設置したInsulatorの表面に沿面放電を発生させてTarget とAnode間で電流のパスを作りCapacitor に帯電させた電荷を瞬時にTarget に流しTarget を個体→液体→気体→プラズマ迄変化させTarget とAnode間でArc(弧)状のPlasma を発生させる。

発生したPlasma にはTarget物質のIon と電子が混在しArc状に流れた電流から発生する磁場からのローレンツ力によりAnode前方にPlasma を押し出す。
押し出されたTarget Ionは衝突先で凝集しナノ粒子を生成する。