研究開発
分野

減圧乾燥装置

VD-500S

真空排気能力の設定が可能な減圧チャンバー
VD-500Sは減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を減圧乾燥する装置です。
バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能です。

■ チャンバー ： 外寸法580mm×480mm 高さ103mm (蓋閉時)
内寸法530mm×430mm 高さ53mm

■ 真空系 ： 到達真空度 約1Pa(サンプル無)
ドライポンプ 600L/min

■ 減圧方式 ： ［圧力モード］設定圧力に達したら自動で大気解放
［時間モード］ 設定された時間 減圧したら自動で解放

■ ユーティリティー ： 3φAC200V: ドライエア-0.4~0.6MPa:真空排気

■ 外形寸法 ： (W)1200×(L)1100mm×(H)1600mm

■ 装置重量 ： 約350Kg

※上記項目は要求仕様により変更可能